真空ポンプの到達圧力は、製造プロセスの使用圧力を満たす必要があります。基本的に、選択されたポンプの到達圧力は、生産プロセスの要件よりも 1 桁も高くありません。ポンプの種類ごとに使用圧力の限界があり、ポンプの作動点はこの範囲内に構築する必要があり、許容使用圧力を超えて長時間運転を続けることはできません。真空ポンプは、その動作圧力の下で、真空装置の製造プロセスによってもたらされるすべての量のガスを適切に排出する必要があります。
1 つのタイプのポンプが排気と真空の要件を満たすことができない場合、生産プロセスの要件を満たすために、複数のポンプを組み合わせて相互に補完する必要があります。一部の真空ポンプは大気圧下では動作せず、予備真空が必要です。一部の真空ポンプは出口圧力が大気圧以下でフォアポンプが必要なため、すべてを組み合わせて選択する必要があります。組み合わせて選択した真空ポンプを真空ポンプユニットと呼び、良好な真空度と排気量が得られる真空システムを実現します。真空ポンプが異なれば、排出されるガスの要件も異なるため、複合型真空ポンプを適切に選択する必要があります。
油封式ポンプを選択するときは、真空システムに油汚染の要件があるかどうかをできるだけ早く理解する必要があります。機器がオイルフリーである必要がある場合は、さまざまなタイプのオイルフリー ポンプを選択する必要があります。たとえば、ウォーター リング ポンプ、極低温ポンプなどです。要件が不可能な場合は、オイル ポンプといくつかのポンプを選択できます。コールド トラップ、オイル トラップ、バッフルなどを追加するなどの油汚染対策も、クリーンな真空要件を達成することができます。
排気ガスの化学組成、ガスに凝縮性蒸気が含まれているかどうか、粒子浮遊灰があるかどうか、腐食刺激があるかどうかなどに精通しています。真空ポンプを選択するときは、ガスの化学組成を知る必要があります。対応するポンプは、ポンピングされたガス用に選択する必要があります。ガスに蒸気、粒子状物質、腐食性の刺激性ガスが含まれている場合は、ポンプの入口パイプラインにコンデンサー、集塵機などの補助装置を取り付けることを考慮する必要があります。
油封式真空ポンプを選定する際には、真空ポンプから排出される油蒸気(すす)が環境に与える影響を考慮する必要があります。汚染を許さない環境の場合は、オイルフリーの真空ポンプを選択するか、油蒸気を屋外に排出する必要があります。
真空ポンプの作動による振動が、生産工程や環境に影響を与えていないか。製造工程が許されない場合は、振動のないポンプを選択するか、防振対策を講じる必要があります。
投稿時間: 2022 年 5 月 25 日